簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "微影製程".ckeyword (精準) and cadvisor.raw="黃佑民"


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    應用微影製程開發氣體感測器之研究
    • 機械工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 蔡豔雪 指導教授: 黃佑民
    • 摘 要 科技的進步,對環境的汙染日趨嚴重,於工業界有毒氣體外洩的事件時有所聞;而在日常生活中,每到冬天常有一氧化碳中毒的事件發生,因此氣體感測器的發展倍受重視。氣體感測器除了廣泛運用於工業安全之外,…
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    以影像品質控制改善微影步進機透鏡加熱效應
    • 機械工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 莊至瑋 指導教授: 黃佑民 許覺良
    • 中 文 摘 要 近年來由於晶圓代工產品的多樣性及難以避免的待機時間之影響,所衍生之曝光條件的變動頻繁,因而導致半導體晶圓代工廠之微影製程技術,面臨透鏡加熱效應顯著的困擾,造成0.5μm多晶矽閘層的…
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